一、 概 述
本儀器由機(jī)械泵、玻璃油擴(kuò)散泵、真空測(cè)量、真空蒸鍍室、電控系統(tǒng)及測(cè)量?jī)x表組成，可以完成真空制備，薄膜制備等功能。
二、 特 點(diǎn)
1. 通過(guò)真空玻璃罩能清晰地觀察到蒸發(fā)、濺射等物理過(guò)程
2. 操作簡(jiǎn)便，顯示清晰
三、 配置及技術(shù)性能
1. 機(jī)械泵:抽速0.５l/s，極限真空0.06Pa，轉(zhuǎn)速：1400r/min
2. 玻璃油擴(kuò)散泵: 三級(jí)油擴(kuò)散泵內(nèi)60l/s，極限壓強(qiáng)是1×10-5Pa
3. 加油量：120ml～150ml
4. 真空測(cè)量范圍 ：0～101.3kPa
5. 真空測(cè)量分辨率：±0.001Pa
四、 實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目
1. 真空的制備和測(cè)量
2. 熱蒸發(fā)法進(jìn)行薄膜制備